Optical characterization of HfO(2) thin films

Franta D



Název
Optical characterization of HfO(2) thin films
Autor
lupa Franta D.
Spoluautoři
lupa Ohlídal I.
lupa Nečas D.
lupa Vižďa F.
lupa Caha O.
lupa Hasoň M.
lupa Pokorný Pavel UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Thin Solid Films. Roč. 519, č. 18 (2011), s. 6085-6091. - : Elsevier
Vyd.údaje
7 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CH
Klíč.slova
optical properties * ellipsometry * spectrophotometry * hafnium oxide * transition-metal oxide * Urbach tail
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0201067