Deposition of PZT thin film onto copper-coated polymer films by mean of pulsed-DC and RF-reactive sputtering

Suchaneck G



Název
Deposition of PZT thin film onto copper-coated polymer films by mean of pulsed-DC and RF-reactive sputtering
Autor
lupa Suchaneck G.
Spoluautoři
lupa Labitzke R.
lupa Adolphi B.
lupa Jastrabík Lubomír FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Adámek Petr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Drahokoupil Jan FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Hubička Zdeněk FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Kiselev D.A.
lupa Kholkin A. L.
lupa Gerlach G.
lupa Dejneka Alexandr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Surface and Coatings Technology. Roč. 205, č. 2 (2011), S241-S244. - : Elsevier
Vyd.údaje
4 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CH
Klíč.slova
pulsed DC reactive sputtering * RF reactive sputtering * complex oxide film deposition * polymer substrate
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0200083