Time-resolved plasma parameters in the HiPIMS discharge with Ti target in Ar/O2 atmosphere

Čada Martin



Název
Time-resolved plasma parameters in the HiPIMS discharge with Ti target in Ar/O2 atmosphere
Autor
lupa Čada Martin FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Hubička Zdeněk FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Adámek Petr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Klusoň Jan FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Jastrabík Lubomír FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Surface and Coatings Technology. Roč. 205, č. 2 (2011), S317-S321. - : Elsevier
Vyd.údaje
4 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CH
Klíč.slova
HiPIMS * Langmuir probe * ion flux * reactive sputtering
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0200073