Investigation of the negative ions in Ar/O.sub.2./sub. plasma of magnetron sputtering discharge with Al:Zn target by ion mass spectrometry

Pokorný Petr



Název
Investigation of the negative ions in Ar/O2 plasma of magnetron sputtering discharge with Al:Zn target by ion mass spectrometry
Autor
lupa Pokorný Petr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Mišina Martin FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Bulíř Jiří FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Lančok Ján FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Fitl Přemysl FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Musil Jindřich FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Novotný Michal FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Plasma Processes and Polymers. Roč. 8, č. 5 (2011), s. 459-464. - : WILEY-BLACKWELL
Vyd.údaje
6 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
DE
Klíč.slova
energy-resolved ion mass spectrometry * formation of negative ions * magnetron sputtering * mass spectrometry * transparent conductive oxide
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0199569