In-situ monitoring of the growth of nanostructured aluminum thin film

Novotný Michal



Název
In-situ monitoring of the growth of nanostructured aluminum thin film
Autor
lupa Novotný Michal FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Bulíř Jiří FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Lančok Ján FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Pokorný Petr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Bodnár Michal FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Journal of Nanophotonics. Roč. 5, č. 5 (2011), "051503-1"-"051503-10"
Vyd.údaje
10 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
US
Klíč.slova
aluminum ultrathin film * magnetron sputtering * in-situ monitoring * electrical conductivity * spectral ellipsometry * optical emission spectroscopy
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0198619