Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs

Straňák V



Název
Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs
Autor
lupa Straňák V.
Spoluautoři
lupa Drache S.
lupa Čada Martin FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Hubička Zdeněk FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Tichý M.
lupa Hippler R.
Zdroj.dok.
lupa Contributions to Plasma Physics. Roč. 51, 2-3 (2011), s. 237-245
Vyd.údaje
9 s.
Poznámky
CEZ:MSM0021620834
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
DE
Klíč.slova
time-resolved plasma diagnostics * optical emission spectroscopy * Langmuir probe * magnetron sputtering
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0197343