Mechanical and tribological properties of coatings sputtered from SiC target in the presence of CH.sub.4./sub. gas

Kulykovskyy Valeriy



Název
Mechanical and tribological properties of coatings sputtered from SiC target in the presence of CH4 gas
Autor
lupa Kulykovskyy Valeriy FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Vorlíček Vladimír FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Čtvrtlík Radim FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Boháč Petr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Suchánek J.
lupa Bláhová O.
lupa Jastrabík Lubomír FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Surface and Coatings Technology. Roč. 205, č. 11 (2011), s. 3372-3376. - : Elsevier
Vyd.údaje
6 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CH
Klíč.slova
amorphous SiC films * sputtering * hardness * coefficient of friction * Raman spectra
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0197192