Correction of sample tilt in FIB instruments

Oral Martin



Název
Correction of sample tilt in FIB instruments
Autor
lupa Oral Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Lencová Bohumila UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section A. Roč. 645, č. 1 (2011), s. 130-135. - : Elsevier
Vyd.údaje
6 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
NL
Klíč.slova
sample tilt * extraction field * correction of elliptical beam shape * calculation of intensity distribution * focused ion beams
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0196576