A study of plasma parameters in hollow cathode plasma jet in pulse regime

Kudrna P



Název
A study of plasma parameters in hollow cathode plasma jet in pulse regime
Autor
lupa Kudrna P.
Spoluautoři
lupa Klusoň J.
lupa Leshkov S.
lupa Chichina M.
lupa Picková I.
lupa Hubička Zdeněk FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Tichý M.
Zdroj.dok.
lupa Contributions to Plasma Physics. Roč. 50, č. 9 (2010), s. 886-891
Vyd.údaje
6 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
DE
Klíč.slova
thin-films * system * deposition * RF * nitride
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0196140