Time-resolved investigation of dual high power impulse magnetronsputtering with closed magnetic field during deposition of Ti–Cu thin films

Straňák Vítězslav



Název
Time-resolved investigation of dual high power impulse magnetronsputtering with closed magnetic field during deposition of Ti–Cu thin films
Autor
lupa Straňák Vítězslav FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Čada Martin FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Hubička Zdeněk FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Tichý M.
lupa Hippler R.
Zdroj.dok.
lupa Journal of Applied Physics. Roč. 108, č. 4 (2010), 043305/1-043305/8
Vyd.údaje
8 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
US
Klíč.slova
Langmuir probes * magnetrons * metallic thin films * plasma density * sputter deposition * time resolved spectra
URL
http://jap.aip.org/resource/1/japiau/v108/i4/p043305_s1
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
URL
http://jap.aip.org/resource/1/japiau/v108/i4/p043305_s1
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0195448