Silicon monocrystal wafers ground with various abrasive materials

Havelková Martina



Název
Silicon monocrystal wafers ground with various abrasive materials
Autor
lupa Havelková Martina FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Hiklová Helena FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa SILICON 2010. 12th Scientific and Business Conference. S. 289-290. - Rožnov pod Radhoštěm : TECON Scientific, s.r.o., 2010 / Vojtěchovský K.
Vyd.údaje
2 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CZ
Klíč.slova
silicon monocrystal * abrasive materials
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0006343