Toward surface-friendly treatment of seeding layer and selected-area diamond growth

Babchenko Oleg



Název
Toward surface-friendly treatment of seeding layer and selected-area diamond growth
Autor
lupa Babchenko Oleg FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Ižák Tibor FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Ukraintsev Egor FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Hruška Karel FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Rezek Bohuslav FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Physica Status Solidi B-Basic Solid State Physics. Roč. 247, 11-12 (2010), s. 3026-3029
Vyd.údaje
4 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
DE
Klíč.slova
diamond structuring * lithography * reactive ion etching * selected-area deposition
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0193711