Effect of Hydrogen on the Properties of Amorphous Carbon Nitride Films

Mikmeková Eliška



Název
Effect of Hydrogen on the Properties of Amorphous Carbon Nitride Films
Autor
lupa Mikmeková Eliška UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Urbánek Michal UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Fořt Tomáš UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Di Mundo R.
Zdroj.dok.
lupa 2010 International Conference on Manufacturing Science and Technology (ICMST 2010). S. 291-295. - Chengdu : Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc, 2010
Vyd.údaje
5 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CN
Klíč.slova
hydrogenated alfa-CNx films * ressidal stress * r. f. magnetron sputtering * SLEEM * XPS * TDMS * AFM
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0192321