Mapping of Dopants in Silicon by Injection of Electrons

Hovorka Miloš



Název
Mapping of Dopants in Silicon by Injection of Electrons
Autor
lupa Hovorka Miloš UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Frank Luděk UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Proceedings of 5th Japan-China-Norway Cooperative Symposium on Nanostructure of Advanced Materials and Nanotechnology. S. 15-18. - Toyama : University of Toyama, 2010
Vyd.údaje
4 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
JP
Klíč.slova
semiconductors * dopant contrast * very low energy SEM
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0192000