Education and research at clean room laboratory for silicon device technology at Masaryk University

Mikulík P



Název
Education and research at clean room laboratory for silicon device technology at Masaryk University
Autor
lupa Mikulík P.
Spoluautoři
lupa Humlíček J.
lupa Kulha P.
lupa Hovorka Miloš UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Kadlec Filip FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa 12th Scientific and Business Conference SILICON 2010. S. 455-456. - Rožnov pod Radhoštěm : TECON Scientific s.r.o, 2010
Vyd.údaje
2 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CZ
Klíč.slova
clean room * microelectronic * silicon device technology
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0191990