Interferometric nanocomparator for calibrating precision displacement sensors

Čížek Martin



Název
Interferometric nanocomparator for calibrating precision displacement sensors
Autor
lupa Čížek Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Buchta Zdeněk UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Mikel Břetislav UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Interferometry XV: Applications (Proceedings of SPIE Vol. 7791). 77910N: 1-7. - Bellingham : SPIE, 2010
Vyd.údaje
7 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
US
Klíč.slova
interferometry * nanometrology * calibration
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0191782