Laser interference nano-comparator for length sensor calibration in nanometric scale

Číp Ondřej



Název
Laser interference nano-comparator for length sensor calibration in nanometric scale
Autor
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Mikel Břetislav UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Čížek Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Šmíd Radek UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Buchta Zdeněk UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa 2nd International Conference NANOCON 2010. S. 274-277. - Ostrava : Tanger s.r.o, 2010
Vyd.údaje
4 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CZ
Klíč.slova
nanoscale * precise measurement * laser * interferometer
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0191769