Interferometer controlled positioning for nanometrology

Lazar Josef



Název
Interferometer controlled positioning for nanometrology
Autor
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Čížek Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Hrabina Jan UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Šerý Mojmír UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Klapetek P.
Zdroj.dok.
lupa 2nd International Conference NANOCON 2010. S. 287-291. - Ostrava : Tanger s.r.o, 2010
Vyd.údaje
5 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CZ
Klíč.slova
nanometrology * interferometry * local probe microscopy * nanopositioning
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0191768