Interferometer Controlled Positioning for Nanometrology

Lazar Josef



Název
Interferometer Controlled Positioning for Nanometrology
Autor
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Čížek Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Hrabina Jan UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Šerý Mojmír UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Proceedings of the International Conference on Nanotechnology: Fundamentals and Applications. 525: 1-5. - Ottawa : International ASET, 2010
Vyd.údaje
5 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CA
Klíč.slova
atomic force microscopy * interferometer controlled positioning
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0191766