Multiaxis interferometric system for positioning in nanometrology

Lazar Josef



Název
Multiaxis interferometric system for positioning in nanometrology
Autor
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Čížek Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Hrabina Jan UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Šerý Mojmír UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Klapetek P.
Zdroj.dok.
lupa Proceedings of the 9th WSEAS International Conference on Microelectronics, Nanoelectronics, Optoelectronic. S. 92-95. - Sofia : WSEAS EUROPMENT Press, 2010
Vyd.údaje
4 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
BG
Klíč.slova
nanometrology * interferometry * traceability * local probe microscopy * nanopositioning
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0191759