Fabrication of nanostructured aluminium thin film and in-situ monitoring of the growth

Novotný Michal



Název
Fabrication of nanostructured aluminium thin film and in-situ monitoring of the growth
Autor
lupa Novotný Michal FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Bulíř Jiří FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Lančok Ján FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Pokorný Petr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Bodnár Michal FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Piksová K.
Zdroj.dok.
lupa Nanostructured Thin Films III. 7766OU/1-7766OU/8. - Bellingham : SPIE, 2010 / Martin-Palma R.J. ; Jen Y.-J. ; Lakhtakia A.
Vyd.údaje
8 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
US
Klíč.slova
aluminium ultra thin film * magnetron sputtering * in-situ monitoring * electrical conductivity * spectral ellipsometry * optical emission spectroscopy
URL
http://dx.doi.org/10.1117/12.860555
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
URL
http://dx.doi.org/10.1117/12.860555
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0191329