Generation of positive and negative oxygen ions in magnetron discharge during reactive sputtering of alumina

Pokorný Petr



Název
Generation of positive and negative oxygen ions in magnetron discharge during reactive sputtering of alumina
Autor
lupa Pokorný Petr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Bulíř Jiří FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Lančok Ján FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Musil Jindřich FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Novotný Michal FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Plasma Processes and Polymers. Roč. 7, č. 11 (2010), s. 910-914. - : WILEY-BLACKWELL
Vyd.údaje
5 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
DE
Klíč.slova
aluminium oxide * ion-energy distribution function * magnetron * mass spectrometry * pulsed discharges
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0191144