Laser interferometric measuring system for positioning in nanometrology

Lazar Josef



Název
Laser interferometric measuring system for positioning in nanometrology
Autor
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Čížek Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Hrabina Jan UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Šerý Mojmír UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa WSEAS Transactions on Circuits and Systems. Roč. 9, č. 10 (2010), s. 660-669
Vyd.údaje
10 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
GR
Klíč.slova
Interferometry * local probe microscopy * nanometrology * nanopositioning * traceability
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0191103