Determination of electron density and temperature in a capacitively coupled RF discharge in neon by OES complemented with a CR model

Navrátil Z



Název
Determination of electron density and temperature in a capacitively coupled RF discharge in neon by OES complemented with a CR model
Autor
lupa Navrátil Z.
Spoluautoři
lupa Dvořák P.
lupa Brzobohatý Oto UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Trunec D.
Zdroj.dok.
lupa Journal of Physics D-Applied Physics. Roč. 43, Nov 3 (2010), 505203:1-11
Vyd.údaje
11 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
GB
Klíč.slova
electron temperature * electron density * optical emission spectroscopy * collisional–radiative model
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0190757