Imaging of thermal treated thin films on silicon substrate in the scanning low energy electron microscope

Zobačová Jitka



Název
Imaging of thermal treated thin films on silicon substrate in the scanning low energy electron microscope
Autor
lupa Zobačová Jitka UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Mikmeková Šárka UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Polčák J.
lupa Frank Luděk UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. S. 69-70. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 / Mika F.
Vyd.údaje
2 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CZ
Klíč.slova
thin films * SLEEM * Si substrate
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0190612