Imaging of dopants under presence of surface ad-layers

Mika Filip



Název
Imaging of dopants under presence of surface ad-layers
Autor
lupa Mika Filip UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Hovorka Miloš UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Frank Luděk UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. S. 35-36. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 / Mika F.
Vyd.údaje
2 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CZ
Klíč.slova
scanning electron microscopy * semiconductor structures * image contrast * dopant concentration * secondary electron emission
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0190604