Comparison of techniques for diffraction grating topography analysis

Matějka Milan



Název
Comparison of techniques for diffraction grating topography analysis
Autor
lupa Matějka Milan UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Rek Antonín UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Mika Filip UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Fořt Tomáš UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Matějková Jiřina UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. S. 29-32. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 / Mika F.
Vyd.údaje
4 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CZ
Klíč.slova
Atomic Force Microscopy * AEM * Scanning Electron Microscopy * SEM * topography imaging
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0190602