Deposition of hard thin films from HMDSO in atmospheric pressure dielectric barrier discharge

Trunec D



Název
Deposition of hard thin films from HMDSO in atmospheric pressure dielectric barrier discharge
Autor
lupa Trunec D.
Spoluautoři
lupa Zajíčková L.
lupa Bursíková V.
lupa Studnička F.
lupa Sťahel P.
lupa Prysiazhnyi V.
lupa Peřina Vratislav UJF-V - Ústav jaderné fyziky AV ČR, v. v. i.
lupa Houdková Jana FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Navrátil Z.
lupa Franta D.
Zdroj.dok.
lupa Journal of Physics D-Applied Physics. Roč. 43, č. 22 (2010), 225403/1-225403/8
Vyd.údaje
8 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
GB
Klíč.slova
GLOW-DISCHARGE * CHEMICAL-STRUCTURE * PLASMA
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0189349