Role of the tip induced local anodic oxidation in the conductive atomic force microscopy of mixed phase silicon thin films

Vetushka Aliaksi



Název
Role of the tip induced local anodic oxidation in the conductive atomic force microscopy of mixed phase silicon thin films
Autor
lupa Vetushka Aliaksi FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Fejfar Antonín FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Ledinský Martin FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Rezek Bohuslav FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Stuchlík Jiří FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Kočka Jan FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Physica Status Solidi C: Current Topics in Solid State Physics. Roč. 7, 3-4 (2010), s. 728-731
Vyd.údaje
4 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
DE
Klíč.slova
local anodic oxidation (LAO) * conductive atomic force microscopy (C-AFM)
URL
http://www3.interscience.wiley.com/journal/123289759/abstract
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
URL
http://www3.interscience.wiley.com/journal/123289759/abstract
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0188465