IR Laser CVD of Nanostructured Si/Ge Alloy from Silane-Germane Mixture

Křenek Tomáš



Název
IR Laser CVD of Nanostructured Si/Ge Alloy from Silane-Germane Mixture
Autor
lupa Křenek Tomáš UCHP-M - Ústav chemických procesů AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Murafa Nataliya UACH-T - Ústav anorganické chemie AV ČR, v. v. i.
lupa Bezdička Petr UACH-T - Ústav anorganické chemie AV ČR, v. v. i.
lupa Šubrt Jan UACH-T - Ústav anorganické chemie AV ČR, v. v. i.
lupa Pola Josef UCHP-M - Ústav chemických procesů AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Journal of Analytical and Applied Pyrolysis. Roč. 89, č. 1 (2010), s. 137-141. - : Elsevier
Vyd.údaje
5 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
NL
Klíč.slova
silane * germane * ir laser
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0187411