On angle resolved RF magnetron sputtering of Ge-Sb-Te thin films

Gutwirth J



Název
On angle resolved RF magnetron sputtering of Ge-Sb-Te thin films
Autor
lupa Gutwirth J.
Spoluautoři
lupa Wágner T.
lupa Bezdička Petr UACH-T - Ústav anorganické chemie AV ČR, v. v. i.
lupa Hrdlička M.
lupa Vlček Milan UMCH-V - Ústav makromolekulární chemie AV ČR, v. v. i.
Frumar M.
Zdroj.dok.
lupa Journal of Non-Crystalline Solids. Roč. 355, 37-42 (2009), s. 1935-1938. - : ELSEVIER SCIENCE BV
Vyd.údaje
4 s.
Poznámky
MSM0021627501
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
NL
Klíč.slova
amorphous semiconductors * films and coatings * sputtering
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0184416