Profiling N-Type Dopants in Silicon

Hovorka Miloš



Název
Profiling N-Type Dopants in Silicon
Autor
lupa Hovorka Miloš UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Mika Filip UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Mikulík P.
lupa Frank Luděk UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Materials Transactions. Roč. 51, č. 2 (2010), s. 237-242
Vyd.údaje
6 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
JP
Klíč.slova
silicon * dopant contrast * photoemission electron microscopy * scanning electron microscopy
URL
http://www.jim.or.jp/journal/e/51/02/237.html
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
URL
http://www.jim.or.jp/journal/e/51/02/237.html
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0183926