Spatial coherence profilometry on tilted surfaces

Pavlíček Pavel



Název
Spatial coherence profilometry on tilted surfaces
Autor
lupa Pavlíček Pavel FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Halouzka M.
lupa Duan Z.
lupa Takeda M.
Zdroj.dok.
lupa Applied Optics. Roč. 48, č. 34 (2009), H40-H47
Vyd.údaje
7 s.
Poznámky
CEZ:MSM6198959213
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
US
Klíč.slova
tilted surface * spatial coherence profilometry * spatial coherence * measurement error * shape measurement
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0183922