Selective area deposition of diamond structures

Babchenko Oleg



Název
Selective area deposition of diamond structures
Autor
lupa Babchenko Oleg FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Kromka Alexander FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Hruška Karel FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Vaněček Milan FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Proceedings of the 15th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter. 251-255. - Zilina : University of Zilina, 2009 / Pudiš J. ; Harmatha L. ; Müllerová J. ; Jamnický I.
Vyd.údaje
5 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
SK
Klíč.slova
selective area deposition * plasma etching * polymer mask
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0183063