Metrological SPM with positioning controlled by green light interferometry

Lazar Josef



Název
Metrological SPM with positioning controlled by green light interferometry
Autor
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Klapetek P.
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Čížek Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Hrabina Jan UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Šerý Mojmír UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Fringe 2009 - 6th International Workshop on Advanced Optical Metrology. S. 405-410. - Heidelberg : Springer, 2009
Vyd.údaje
6 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
DE
Klíč.slova
laser interferometry * Nd:YAG laser
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0180037