Profiling of N-Type Dopants in Silicon Based Structures

Hovorka Miloš



Název
Profiling of N-Type Dopants in Silicon Based Structures
Autor
lupa Hovorka Miloš UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Mika Filip UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Frank Luděk UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Mikulík P.
Zdroj.dok.
lupa Proceedings of the 4th Czech-Japan-China Cooperative Symposium on Nanostructure of Advanced Materials and Nanotechnology (CJCS’09). S. 14. - Brno : ISI AS CR, 2009 / Pokorná Zuzana ; Mika Filip
Vyd.údaje
1 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CZ
Klíč.slova
n-type substrate * SEM * PEEM * doping levels
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0179799