Electron beam induced current measurement on a specimen biased in a cathode lens

Horáček Miroslav



Název
Electron beam induced current measurement on a specimen biased in a cathode lens
Autor
lupa Horáček Miroslav UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Zobač Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Vlček Ivan UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa MC 2009 - Microscopy Conference: First Joint Meeting of Dreiländertagung and Multinational Conference on Microscopy. Vol. 1: 211-212. - Graz : Verlag der Technischen Universität, 2009
Vyd.údaje
2 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
AT
Klíč.slova
elektron beam induced current * SEM * very low energy electrons * cathode lens * specimen bias
URL
http://www.univie.ac.at/asem/Graz_MC_09/papers/77645.pdf
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
URL
http://www.univie.ac.at/asem/Graz_MC_09/papers/77645.pdf http://www.univie.ac.at/asem/Graz_MC_09/papers/77645.pdf
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0179775