Profiling of N-type dopants in silicon structures

Hovorka Miloš



Název
Profiling of N-type dopants in silicon structures
Autor
lupa Hovorka Miloš UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Mika Filip UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Frank Luděk UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa MC 2009 - Microscopy Conference: First Joint Meeting of Dreiländertagung and Multinational Conference on Microscopy. Vol. 1: 181-182. - Graz : Verlag der Technischen Universität, 2009
Vyd.údaje
2 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
AT
Klíč.slova
silicon * dopants * PEEM * SEM
URL
http://www.univie.ac.at/asem/Graz_MC_09/papers/19923.pdf
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
URL
http://www.univie.ac.at/asem/Graz_MC_09/papers/19923.pdf http://www.univie.ac.at/asem/Graz_MC_09/papers/19923.pdf
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0179772