Green Light Interferometry for Metrological SPM Positioning

Lazar Josef



Název
Green Light Interferometry for Metrological SPM Positioning
Autor
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Klapetek P.
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Čížek Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Hrabina Jan UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Šerý Mojmír UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa MOC'09 - 15th Microoptics Conference. S. 232-233. - Tokyo : Microoptics Group (OSJ/JSAP), 2009
Vyd.údaje
2 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
JP
Klíč.slova
scanning probe microscopy * Nd:YAG laser * green light interferometry
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0179667