Novel instrumentation for interferometric nanoscale comparator

Čížek Martin



Název
Novel instrumentation for interferometric nanoscale comparator
Autor
lupa Čížek Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Buchta Zdeněk UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Mikel Břetislav UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VI. (Proceedings of SPIE Vol. 7389). 73982Y: 1-7. - Bellingham : SPIE, 2009
Vyd.údaje
7 s.
Poznámky
10.1117/12.827515
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
US
Klíč.slova
high resolution interferometry * laser comparator * precision displacement sensors
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0179660