Physical properties of homogeneous TiO.sub.2./sub. films prepared by high power impulse magnetron sputtering as a function of crystallographic phase and nanostructure

Straňák Vítězslav



Název
Physical properties of homogeneous TiO2 films prepared by high power impulse magnetron sputtering as a function of crystallographic phase and nanostructure
Překlad názvu
Fyzikální vlastnosti homogenních TiO2 vrstev připravovaných pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového odprašování v závislosti na krystalografické fázi a nanostruktuře
Autor
lupa Straňák Vítězslav FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Čada Martin FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Quaas M.
lupa Block S.
lupa Bogdanowicz R.
lupa Kment Štěpán FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Wulff H.
lupa Hubička Zdeněk FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Helm Ch.A.
lupa Tichý M.
lupa Hippler R.
Zdroj.dok.
lupa Journal of Physics D-Applied Physics. Roč. 42, č. 10 (2009), 105204/1-105204/12
Vyd.údaje
12 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
GB
Klíč.slova
TiO2 * high power magnteron sputtering * plasma diagnostic * film diagnostic
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0179099