Measurement of total energy flux density at a substrate during TiO.sub.x./sub. thin film deposition by using a plasma jet system

Čada Martin



Název
Measurement of total energy flux density at a substrate during TiOx thin film deposition by using a plasma jet system
Autor
lupa Čada Martin FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Virostko Petr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Kment Štěpán FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Hubička Zdeněk FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Vacuum. Roč. 83, č. 4 (2009), s. 738-744. - : Elsevier
Vyd.údaje
7 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
GB
Klíč.slova
hollow cathode * plasma jet * sputtering * pulsed DC * energy influx on substrate * TiO2
URL
http://www.sciencedirect.com/science?_ob=ArticleURL&_udi=B6TW4-4SJ2WRT-2&_user=625012&_rdoc=1&_fmt=&_orig=search&_sort=d&view=c&_acct=C000031722&_vers
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
URL
http://www.sciencedirect.com/science?_ob=ArticleURL&_udi=B6TW4-4SJ2WRT-2&_user=625012&_rdoc=1&_fmt=&_orig=search&_sort=d&view=c&_acct=C000031722&_vers
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0179088