A study of the ion flux during deposition of titanium thin films by hollow cathode plasma jet

Virostko Petr



Název
A study of the ion flux during deposition of titanium thin films by hollow cathode plasma jet
Překlad názvu
Studium iontového toku během depozice tenkých vrstev titanu pomocí plazmové trysky s efektem duté katody
Autor
lupa Virostko Petr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Hubička Zdeněk FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Čada Martin FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Kment Štěpán FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Jastrabík Lubomír FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Tichý M.
Zdroj.dok.
lupa Journal of Plasma and Fusion Research SERIES. Roč. 8, - (2009), 719-723
Vyd.údaje
5 s.
Poznámky
MSM0021620834
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
JP
Klíč.slova
ion flux * plasma jet * hollow cathode * plasma diagnostics
URL
http://www.jspf.or.jp/JPFRS/PDF/Vol8/jpfrs2009_08-0719.pdf
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
URL
http://www.jspf.or.jp/JPFRS/PDF/Vol8/jpfrs2009_08-0719.pdf http://www.jspf.or.jp/JPFRS/PDF/Vol8/jpfrs2009_08-0719.pdf
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0178588