Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing

Meduňa M



Název
Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing
Autor
lupa Meduňa M.
Spoluautoři
lupa Caha O.
lupa Kuběna J.
lupa Kuběna A.
lupa Buršík Jiří UFM-A - Ústav fyziky materiálů AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Physica. B. Roč. 404, - (2009), s. 4637-4640. - : Elsevier
Vyd.údaje
4 s.
Poznámky
MSM0021622410
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
NL
Klíč.slova
silicon * interstitial oxygen * oxygen precipitates
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0177972