Local probe microscopy with interferometric monitoring of the stage nanopositioning

Lazar Josef



Název
Local probe microscopy with interferometric monitoring of the stage nanopositioning
Autor
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Klapetek P.
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Čížek Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Šerý Mojmír UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Measurement Science and Technology. Roč. 20, č. 8 (2009), 084007: 1-6
Vyd.údaje
6 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
GB
Klíč.slova
interferometry * local probe microscopy * nanometrology * nanoscale * surface probe microscopy (SPM) * atomic force microscopy (AFM) * nanopositioning interferometry
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0176405