Space resolved optical emission spectroscopy during deposition of Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films by double hollow cathode plasma Jet system

Olejníček Jiří



Název
Space resolved optical emission spectroscopy during deposition of BaxSr1-xTiO3 thin films by double hollow cathode plasma Jet system
Překlad názvu
Prostorově rozlišená optická emisní spektroskopie během depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí dvojtryskového plazma-jet systému
Autor
lupa Olejníček Jiří FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Hubička Zdeněk FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Čada Martin FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Virostko Petr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Kment Štěpán FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Adámek Petr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Jastrabík Lubomír FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
lupa Dejneka Alexandr FZU-D - Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Materials Science Forum. Roč. 609, - (2009), s. 105-109
Vyd.údaje
5 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
CH
Klíč.slova
BaxSr1-xTiO3 * BSTO * ferroelectric films * hollow cathode * optical emission spectroscopy
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0173768