Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy

Lazar Josef



Název
Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy
Překlad názvu
Interferometrické měření polohy pro mikroskopii s lokální sondou
Autor
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Čížek Martin UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Šerý Mojmír UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa tm-Technisches Messen . Roč. 76, č. 5 (2009), s. 253-258
Vyd.údaje
6 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
DE
Klíč.slova
Interferometry * local probe microscopy * nanometrology
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0172639