Search results
- 1.0566395 - ÚPT 2023 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Vašina, R. - Seďa, B. - Radlička, Tomáš - Řiháček, Tomáš
Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií.
[Graphene Foil Lens Corrector.]
Internal code: APL-2022-16 ; 2022
Technical parameters: Korektor sférické aberace a jeho integrace do mikroskopu Apreo. Jeho základní částí je elektrostatická čočka sestávající se z dvojice elektrod, na kterých lze libovolně měnit potenciál a dvou stínících elektrod. V otvoru jedné ze stínících elektrod je kruhová apertura, která je překryta tenkou grafénovou folií, která zaručuje diskontinuitu elektrostatického pole. Integrace do mikroskopu Apreo zahrnuje nový kondenzorový sytém a nový mechanizmus pro měření aberací založený na 2D pixelovém detektoru TimePix.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * corrector of sperical aberration * resolution * graphene foil * TimePix detector
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0337735 - 2.0550698 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Vašina, R. - Seďa, B. - Oral, Martin - Radlička, Tomáš
Nástavec objektivové čočky s deflektory optimalizovaný pro tubus NiCol.
[Extender for NiCOl column with deflectors.]
Internal code: APL-2021-13 ; 2021
Technical parameters: Extender je prstenec s upínacím mechanismem, který se umístí na spodní pól objektivové čočky skenovacího elektronového mikroskopu. Extender je vyroben z magneticky vodivého materiálu – permalloy Ni48. Pomocí extenderu se změní parametry magnetického imerzního pole objektivové čočky: maximální magnetická indukce a poloha tohoto maxima.Vedle změny parametrů magnetické finální čočky se také změní vlastnosti elektrostatické finální čočky. Tento prstenec je navíc vybaven deflekčními poli, pomocí nichž můžeme ovlivňovat trajektorie signálních elektronů. Pomocí extenderu je možné získat lepší laterální rozlišení a změnu v akceptaci signálních elektronů na detektorech umístěných v tubusu mikroskopu.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * compound objective lens * acceptance of signal electrons * secondary electrons * resolution * immersion field
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326003 - 3.0550696 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Vašina, R. - Seďa, B. - Radlička, Tomáš
Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií.
[Graphene Foil Len Corrector.]
Internal code: APL-2021-14 ; 2021
Technical parameters: Korektor je zamýšlen jako součást skenovacího elektronového mikroskopu, která bude korigovat jeho sférickou vadu. Je to elektrostatická čočka sestávající se z dvojice elektrod, na kterých lze libovolně měnit potenciál dvou stínících elektrod. V otvoru jedné ze stínících elektrod je kruhová apertura, která je překryta tenkou grafénovou folií (řádově 1 - 3 atomové vrstvy grafénu), která zaručuje diskontinuitu elektrostatického pole a zároveň minimálně ovlivňuje elektrony při jejich průchodu folií. Systém je vybaven mechanismem vypékání grafénové folie.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * corrector of spherical aberration * resolution * graphene foil
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326000 - 4.0536587 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Seďa, B. - Vašina, R. - Oral, Martin - Řiháček, Tomáš - Radlička, Tomáš
Nástavec pro objektivovou čočku.
[Objective lens extender.]
Internal code: APL-2020-09 ; 2020
Technical parameters: Extender je prstenec s upínacím mechanizmem, který se umístí na spodní pól objektivové čočky skenovacího elektronového mikroskopu. Extender je vyroben z magneticky vodivého materiálu – permalloy Ni48. Pomocí extenderu se změní parametry magnetického imerzního pole objektivové čočky: maximální magnetická indukce a poloha tohoto maxima.Vedle změny parametrů magnetické finální čočky se také změní vlastnosti elektrostatické finální čočky. Pomocí extenderu je možné získat lepší laterální rozlišení a změnu v akceptaci signálních elektronů na detektorech umístěných v tubusu mikroskopu. Přínos extenderu pro zlepšení vlastností skenovacího elektronového mikroskopu se mění podle operačních podmínek.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Martin Oral, Ph.D., oral@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * variable objective lens * acceptance of signal electrons * secondary electrons * resolution * immersion field
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314350 - 5.0536585 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Radlička, Tomáš - Řiháček, Tomáš - Oral, Martin - Seďa, B. - Vašina, R.
Annulární clona pro SEM.
[Annular aperture for SEM.]
Internal code: APL-2020-08 ; 2020
Technical parameters: Pro výrobu byl použitý standardní aperturní strip, který je tvořený nosnou křemíkovou vrstvou pokovenou 200 nm vrstvou Molybdenu. Anulární apertura byla vyrobena pomoci technologie iontového fokusovaného svazku.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : scanning electron microscope * diffraction * resolution * annular aperture
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314349