0573812 - FZÚ 2024 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Vanda, Jan - Mydlář, Martin
Vzorek skleněného substrátu se strukturou fázových změn vytvořenou pomocí vlnové délky 1030 nm.
[Glass substrate sample with phase modifications structure formed by wavelength 1030 nm.]
Internal code: TM01000021-V4 ; 2022
Technical parameters: Na substrátu D263 o tloušťce 0,1 mm jsou pomocí několika paralelních Besselovských svazků vytvořeny krátery na přední i zadní straně, mezi kterými se nachází masa fázově změněného materiálu s mikrokanálky vytvořenými díky nelineárním jevům vznikajícím při průchodu ultrakrátkých laserových pulzů s vysokou fluencí. Procesní rychlost je > 10 000 kráterů za vteřinu, fluence ve svazku > 6 Jcm-2 na vlnové délce 1030 nm, poziční odchylka kráterů < 10% průměru.
Economic parameters: Výsledek slouží ověření funkčnosti technologie mnohosvazkového zpracování dielektrických materiálů Besselovským svazkem a bude využit pro další rozvoj této technologie. Díky provedené modifikaci je možné krátery vyleptat a vytvořit tzv. TGVs (thru-glass-vias), díky čemuž lze takový substrát použít jako hostovací materiál pro vysokofrekvenční mikroelektroniku. Protože Fyzikální ústav nemá jako svoji hlavní činnost výrobu v oblasti mikroelektroniky, bude hledat vhodného průmyslového partnera pro další rozvoj této technologie.
R&D Projects: GA TA ČR TM01000021
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : TGV * LIDT * DPSSL * laser damage * LIDE * ultra-short pulses
OECD category: Materials engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0344170