Search results

  1. 1.
    0573808 - FZÚ 2024 RIV CZ cze Z - Pilot plant, v. technol., variety, breed
    Vanda, Jan - Stoklasa, B. - Ahn, S. - Ryu, S.G.
    Technologie multi-beam B-TGV.
    [Multi-beam B-TGV technology.]
    Internal code: TM01000021-V1 ; 2022
    Technical parameters: Popisovanou technologii tvoří následující sled procesních kroků: Ozáření skleněného vzorku jedním krátkým pulsem o vysoké energii na vlnové délce 1030 nm nebo 515 nm, nad prahovou hodnotou procesu daného materiálu. Využití mnohasvazkové procesní optiky pro dosažení požadované procesní rychlosti a optimálního tvaru a rozložení laserových svazků. Synchronizace pulsů laseru s pohybem substrátu ve vysoké rychlosti podle opakovací frekvence laseru. Leptání (wet etching) modifikovaných skleněných vzorků k vytvoření TGV (Thru Glass Vias).
    Economic parameters: Výsledek slouží ověření funkčnosti technologie mnohosvazkového zpracování dielektrických materiálů Besselovským svazkem a bude využit pro další rozvoj této technologie. Díky provedené modifikaci je možné krátery vyleptat a vytvořit tzv. TGVs (thru-glass-vias), díky čemuž lze takový substrát použít jako hostovací materiál pro vysokofrekvenční mikroelektroniku. Protože Fyzikální ústav nemá jako svoji hlavní činnost výrobu v oblasti mikroelektroniky, bude hledat vhodného průmyslového partnera pro další rozvoj této technologie.
    R&D Projects: GA TA ČR TM01000021
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : TGV * LIDT * DPSSL * laser damage * LIDE * ultra-short pulses
    OECD category: Materials engineering
    Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0344167
     
     


  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.